广东省科学院半导体研究所(以下简称“半导体所”)是广东省科学院下属骨干科研院所,广东省半导体及集成电路领域唯一成建制的省属科研机构,是中国有色金属学会宽禁带半导体专业委员会挂靠单位,广东省半导体光源产业协会会长单位、广东省集成电路行业协会副会长单位。半导体所“一所两园区”位于广州市天河区,占地近3万平方米,拥有先进的硬件支撑条件,是国内第三代半导体材料研究的重要基地,也是国内少数拥有完整半导体工艺链的研究平台之一,并且具备2-6英寸第三代半导体产业技术的中试能力,建有贯穿半导体及集成电路全链条要素的研发支撑体系。
微纳加工平台(MicroNanoLab)面向广东社会经济发展需求,致力于打造前沿性、支撑性、开放性的微纳加工领域创新实验室,助力新质生产力高质量发展。平台拥有半导体材料器件制备工艺所需的整套仪器设备,建立了一条研发中试线,加工尺寸覆盖2-8英寸,可支撑光电、功率、MEMS、以及生物传感等多品类芯片制造工艺开发,同时形成了一支与硬件设备有机结合的专业人才队伍。平台对国内外高校、科研院所以及企业提供开放共享,可为技术咨询、创新研发、技术验证以及产品中试提供全方位的支持,欢迎来信洽谈合作。