尊敬的用户：

感谢您对广东省科学院半导体研究所微纳加工平台的支持，为鼓励科研创新、促进学术交流，我们诚挚邀请您在发表科研成果时对本平台进行标注。凡符合规范的论文，本平台将根据影响因子提供一定的奖励。

标注规范：

请在论文的“致谢（Acknowledgments）”部分列出以下信息（中英文均可）：

中文：“感谢广东省科学院半导体研究所微纳加工平台（www.micronanolab.cn）在样品/器件制备方面提供的支持。”(注：根据实际情况，可将“样品/器件”改为具体的“光刻工艺”、“刻蚀工艺”或“微纳加工”等词汇)

英文："The authors acknowledge the Micro/Nano Fabrication Platform, Institute of Semiconductors, Guangdong Academy of Sciences (www.micronanolab.cn) for their support in device fabrication."

(本平台保留对本奖励规定的最终解释权)

                                         广东省科学院半导体研究所微纳加工平台

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